光学微电子净化工程
时间：2019-03-05 16:03:50
净化方案一：
组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
方案特点：
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;
C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
净化方案二：
水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
方案特点：
这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
净化方案三：
分体空调柜机+FFU送风口
这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
方案特点：
A、无尘车间的洁净度：LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
B、温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。
C、新风量大
D、送风量大
组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
方案特点：
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;
C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
方案特点：
这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
分体空调柜机+FFU送风口
这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
方案特点：
A、无尘车间的洁净度：LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
B、温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。
C、新风量大
D、送风量大
电子无尘净化车间洁净等级说明
| 等级 | 等级说明及车间应用 |
| 1级 | 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的精确要求为亚微米 |
| 10级 | 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业 |
| 100级 | 很多人认为，这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于，植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗 |
| 1000级 | 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等 |
| 10000级 | 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用 |
| 100000级 | 十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间 |
洁净室（区）空气洁净级别表
| 洁净度级别 | 尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数 | ≥5μm尘粒数 | 微生物最大允许数浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
| 100级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000级 | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000级 | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000级 | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
光学微电子净化工程换气参数
| 换气次数： | 100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次 | 压差： | 主车间对相邻房间≥5Pa |
| 平均风速： | 10级、100级0.3－0.5m/s | 温度： | 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃ 温度45－65％ GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜 电子车间湿度略高以免产生静电 |
| 噪声： | ≤65dB（A） | ||
| 新风补充量： | 新风补充量是总送风量的10％－30％ | ||
| 照度： | 300LX |
